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◆性能特點(diǎn):
光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設計,功能強大。
同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時(shí)工作,互不影響。
同時(shí)具備光學(xué)二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能。
激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結構非常穩定,抗干擾性強。
精密探針定位裝置,激光光斑對準調節非常簡(jiǎn)便。
單軸驅動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測的智能進(jìn)針?lè )绞?,保護探針及樣品。
超高倍光學(xué)定位系統,實(shí)現探針和樣品掃描區域精確定位。
集成掃描器非線(xiàn)性校正用戶(hù)編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。
◆測量范圍及應用:
測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應用案例 Application Case
序號
名稱(chēng)
技術(shù)參數
01
工作模式
接觸模式、輕敲模式
02
選配模式
摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
力譜曲線(xiàn)
F-Z力曲線(xiàn)、RMS-Z曲線(xiàn)
04
XY掃描范圍
50×50um,可選20×20um,100×100um
05
Z掃描范圍
5um,可選2.5um,10um
06
掃描分辨率
橫向0.2nm,縱向0.05nm
07
樣品尺寸
Φ≤68mm,H≤20mm
08
樣品臺行程
25×25mm
09
光學(xué)物鏡
5X/10X/20X/50X平場(chǎng)復消色差物鏡
10
光學(xué)目鏡
10X
11
照明方式
LED柯勒照明系統
12
光學(xué)調焦
粗微動(dòng)手動(dòng)調焦
13
攝像頭
500萬(wàn)像素CMOS傳感器
14
顯示屏
10.1寸平板顯示器,帶圖像測量功能
15
掃描速率
0.6Hz~30Hz
16
掃描角度
0~360°
17
運行環(huán)境
Windows XP/7/8/10操作系統
18
通信接口
USB2.0/3.0